还有没有其他方式,项目团队所研发的光刻机用双频激光干涉仪系统

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一文中,小编谈到了一些判断仪器是否报废的方法,比如老化测试、温度试验。那么,确定仪器已经到了使用年限、无法继续“服役”的时候,应当如何处理呢?除了丢弃,还有没有其他方式?

日前,由清华大学李岩、尉昊赟、吴学健、张弘元、张继涛、赵世杰、朱敏昊、黄沛、任利兵、杨宏雷完成的“高测速多轴高分辨力激光干涉测量技术与仪器”项目获得2018年度中国计量测试学会科学技术进步一等奖。
计量是科学技术的基础,是人类认识世界的工具,人类历史上的3次技术革命都和计量测试技术的突破息息相关,计量测试科技成果对推动其他科学技术的进步与发展具有重要的促进和引领作用。激光干涉测量是实现超精密测控和微纳尺度测量的最有效手段之一,是保障可溯源纳米测量的重要途径,也是迈向计量强国、制造强国不可或缺的关键计量测试技术。
项目团队针对光刻机工件台超精密定位、基础计量测量和高端仪器应用中对激光干涉仪高动态、高分辨力、跨尺度和可溯源等测量需求,深入开展测量原理、方法和测量系统仪器化中的共性科学技术问题研究,突破集成多轴干涉、信号解调和折射率补偿等关键技术,形成全套自主的高性能激光干涉测量系统;提出系列可溯源至长度或频率基准的激光干涉测量方法,实现不确定度为皮、纳米量级的高精度测量;形成了系列知识产品成果,研究成果支撑了我国自主研发光刻机的高精度定位,激光测振仪的信号解调等应用,并入选国家“十二五”科技创新成就展。
项目实现了从干涉仪组件、信号探测解调到多自由度探测方案设计的全链条自研开发的高测速、多轴大量程、高分辨力激光干涉测量系统,提出了光频可溯源系列化激光干涉精密测长方法。截至目前,项目获授权发明专利20余项,发表SCI收录论文30余篇。
此外,项目团队所研发的光刻机用双频激光干涉仪系统,成功应用到我国自研光刻机工件台样机研发过程中,累计应用50余台套,很好的满足了光刻机双工件台样机的精密测量需求,支撑了国内光刻机用双频激光干涉仪能力的形成,减轻了对国外高端干涉仪的依赖,为我国高端装备和仪器研发提供了性能优良且不受制于人的测量及溯源能力。
“中国计量测试学会科学技术进步奖”是在国家科学技术奖励办公室登记备案的省部级科技进步奖。其中申报一等奖的项目要求整体技术已正式应用三年以上并取得较大的经济效益或社会效益。目前产品已成功应用到航空航天、汽车制造、机床检测等多个领域,成为提升中国制造产品质量的有力支撑工具。

“上海智慧计量溯源存证系统”签约仪式在上海临港科创中心顺利举行。上海市计量测试技术研究院、国家技术转移东部中心区块链产业中心、上海阔挣智能技术服务公司共同签署了“研发全球首个智慧计量溯源存证管理系统”战略合作框架协议。
签约仪式由高瞻南方经济研究院执行院长王灏博士主持。签约现场,上海市计量测试技术研究院副院长韩瑜作题为“计量——质量的保证,创新的基础”报告,生动地普及介绍了计量的重要性以及日常生活中随处可见的“度量衡”现象。上海临港科创中心总经理、国家技术转移东部中心区块链产业中心主任屈林在发言中描述出临港“未来之城”的规划与考虑,并表达了对于区块链技术等新兴技术的发展支持。上海国际社区学院院长、国家技术转移东部中心区块链产业中心首席经济学家、教授李波博士分享了区块链技术与“智慧生活”的深度结合。
随着第四次产业革命的到来,全球在新一代互联网技术的应用上都加大投入,特别是整合5G、人工智能、大数据、区块链、物联网技术的应用项目正在加速推进。“上海智慧计量溯源存证管理系统”则综合运用了人工智能、物联网、大数据、云计算及区块链技术,是新一代互联网智慧计量溯源存证管理系统。该系统的研发将彻底改变计量器具计量溯源和使用数据的全过程管理方式,确保计量器具在贸易结算、环境监测、安全防护、医疗卫生等使用环节的数据真实性和客观性,彻底杜绝人为有意干涉,为政府的监管提供一种智慧、高效的以时间轴为基础的数据链管理手段,为使用方提供计量器具在全寿命周期内的数据使用、存证管理方案。
该系统将以区块链电子秤等计量器具数据的上链为突破口,成功后可在更大的范围内推广,旨在全面打造上海市智慧计量生态系统。该系统的规划为全球首个同类项目,对上海科创中心的建设具有重要的作用,将在上海打造全球卓越城市的建设当中将发挥不可替代的作用。
(原文标题:推进科技创新,打造全球首个智慧计量溯源存证系统)

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